誘導結合プラズマ質量分析装置Inductively Coupled Plasma Spectrometer（ICP-MS）
- 装置名
- Agilent Technologies製
Agilent 7900、Agilent 7500CX - 装置の仕様・適用範囲
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- プラズマガス：アルゴン
- リアクションガス：水素，ヘリウム
- 質量分析計：双曲面型四重極
- 測定元素範囲：Li〜U
- 測定液濃度範囲：0.1〜100ppb
ICP-MSは、試料溶液をネブライザで霧状にし、アルゴンプラズマ中に噴霧することにより金属原子がイオン化されます。生成したイオンは、インターフェース（サンプリングコーン･スキマーコーン）を介して質量分析計に導入され、質量／電荷数（m/z）に応じて分離され、検出器で計測されます。
非常に高感度な測定が可能であり、試料溶液中の殆どすべての元素をサブppt（ng／L）オーダーの極低濃度まで測定できます。
多元素同時測定が可能であり、材質中の金属元素の定量分析はもちろんのこと、定性／半定量分析としてよく用いられます。