分析事例

FIB加工・観察事例(ピラー状試料作製・観察)

(1)専用ホルダーとFIB加工によるピラー状の試料作製

  • 試料台を回転できる専用ホルダーとFIB装置の組み合わせにより、ピラー状の試料加工が可能です。

図1

図1. 専用の試料台回転ホルダーおよびピラー状にFIB加工した試料のSEM像

(2)ピラー状に作製した試料の観察

  • 試料ホルダーの回転機構により、ピラー状試料の任意の回転角度からの観察が可能になります。
  • 一方向からの観察では試料の厚さ方向に重なる構造の情報を明確にすることが可能です。

図2

図2. 同一試料の観察方向の異なるHAADF-STEM像※試料はエポキシ樹脂中の金属微粒子