分析事例

蛍光X線分析法による元素の分散状況の観察

元素の分布をマッピングにて確認することが可能です。電子基板の観察では電極・配線の金属種、合金組成を知ることや、樹脂に含まれる金属元素を確認できます。鮮明な透過像により配線の欠損部位を視ることもできます。この他、樹脂製品や食品、医薬品中の異物(金属)の組成・形態を知ることもできます。

元素マッピングの例

サンプル:インクカートリッジ基板

測定条件
X線管電圧:30kV
X線管電流:1mA
X線経路:真空
光学像
光学像
Br
Br
Ca
Ca
透過像
透過像
Ni
Ni
Cu
Cu