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分析装置紹介

走査型電子顕微鏡Scanning Electron Microscope(SEM)

日立製 S−3000N

装置名
日立製 S−3000N(写真)
装置の仕様
  • 電子銃:熱電子放出型電子銃(Wヘアピン型電子銃)
  • 分解能:3.5nm(高真空,二次電子像,加速電圧25kV)

図1 電子線照射による試料からの情報
図1 電子線照射による試料からの情報

電界・磁界により集束させた電子線(一次電子)を真空中で試料表面に走査(照射)すると、二次電子、反射電子、特性X線などが発生します(図1)。
走査型電子顕微鏡は、主に二次電子、反射電子の信号を利用する手法であり、発生した電子の強度をシンチレーター・電子増倍管によって検出し、映像信号に変換することによって、試料表面の形態観察を行なうことができます。二次電子信号は発生領域が浅いため、表面の微細構造を強く反映した像が得られます。反射電子信号は強度が原子番号に依存する性質を有しており、試料表面の組成差を強く反映した像を得ることができます。

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