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分析装置紹介

電子プローブマイクロアナライザーElectron Probe X-ray Micro Analyzer(EPMA)

EMAX

装置名
堀場製 EMAX−7000
装置の仕様
  • 測定方式:エネルギー分散
  • 測定対象:B(ホウ素)〜U(ウラン)
  • 分解能:138eV
  • 測定機能:定性分析、定量分析(Na〜)、多元素同時分析

※走査型電子顕微鏡(S−3000N)付属


図1 電子線照射による試料からの情報
図1 特性X線の発生機構

エネルギー分散型X線分光法(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy:EDX)は、プローブに電子線を使用し、照射部位から発生した特性X線を検出することによって元素分析を行う手法の総称です。SEM観察中の任意箇所の元素分析が可能という特徴を有します。
物質に電子線を照射することにより物質中の内殻電子の1つが励起・放出されて空孔が生じます。高いエネルギー準位にある外殻電子が空孔に落ち込み、その際にエネルギー差に対応する特性X線が発生します(図1)。
この特性X線のエネルギーは各元素に固有であり、特性X線のエネルギー、強度を検出することにより、定性分析・定量分析・マッピング分析が可能となります。

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