プラズマとは電離した気体のことであり、オーロラやコロナ光はプラズマ中で原子が発光する現象として知られています。ICP-AESは高周波を利用してアルゴンガスを電離させてプラズマを生成させ、試料をプラズマの中心部に導入して生じる発光を観測します。試料は前処理で溶液状とし、ネブライザで霧状にされてプラズマトーチに導入されます。
分光器の性能により、シーケンシャル型とマルチ型に別れ、前者の方が分解能が高く微量分析向き、後者の方が迅速分析向きです。
試料の前処理には、強酸を用いたマイクロウエーブ分解法や強アルカリを用いたアルカリ融解法が利用されます。