クライオSEMCryo Scanning Electron Microscopy（Cryo-SEM）
- 装置名
- Zeiss 製EVO LS15
（クライオ搬送ドック，クライオステージ付属） - 付帯装置
- Leica Microsystems 製
- VCT500／VCM（真空クライオ搬送システム）
- ACE600FF（凍結割断・コーティング装置）
- FC7T（クライオウルトラミクロトーム）
クライオSEM は、－160℃前後まで冷却可能な試料ステージと試料作製室とで構成されています。
また凍結固定された試料の、断面作製や昇華（エッチング）、金属コーティング等の試料調製、SEM観察までの一連の動作全てを、試料が凍結された状態のまま行います。
これにより、高真空による試料中の水の脱水の防止、チャージアップ(帯電)の軽減、電子線照射による熱ダメージを抑制し、試料本来の構造が直接観察できることから、植物や生物、食品や水や油を多く含む試料の観察が可能となります。
図1 クライオSEM 観察フロー
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