分析装置紹介

クライオ SEMCryo Scanning Electron Microscopy(Cryo-SEM)

Zeiss 製EVO LS15

装置名
Zeiss 製EVO LS15
(クライオ搬送ドック,クライオステージ付属)
付帯装置
Leica Microsystems 製
VCT500/VCM(真空クライオ搬送システム)
ACE600FF(凍結割断・コーティング装置)
FC7T(クライオウルトラミクロトーム)

クライオSEM は、-160℃前後まで冷却可能な試料ステージと試料作製室とで構成されています。
また凍結固定された試料の、断面作製や昇華(エッチング)、金属コーティング等の試料調製、SEM観察までの一連の動作全てを、試料が凍結された状態のまま行います。
これにより、高真空による試料中の水の脱水の防止、チャージアップ(帯電)の軽減、電子線照射による熱ダメージを抑制し、試料本来の構造が直接観察できることから、植物や生物、食品や水や油を多く含む試料の観察が可能となります。

クライオSEM 観察フロー

図1 クライオSEM 観察フロー