集束イオンビーム走査型電子顕微鏡Focused Ion Beam Scanning Electron Microscopes (FIB-SEM)
- 装置名
- ZEISS製 Crossbeam 550
- 装置の仕様
- 加速電圧：SEM 0.02～30kV / FIB 0.5～30kV
- プローブ電流範囲：
- SEM 10pA～40nA
- FIB 1pA～100nA
- 電子銃：ショットキー電界放出型
- 検出器：SESI, InLensSE, EsB, STEM
- 元素分析装置
- EDX（Oxford Instruments製 Uitim® Max 40）
FIB-SEMは、集束したGaイオンを試料に照射しスパッタリング加工を行う集束イオンビーム（FIB）と、電子線を試料に照射し観察を行う走査型電子顕微鏡（SEM）を一体化させた複合装置です（図1）。SEMにより観察を行いながら、FIB加工が可能なため、微細な異物や空隙などを捉えることが可能となり、欠陥解析や故障解析に活用されます。
図1 FIB-SEMの概要図
また、図2の事例のようにFIB加工とSEM観察を繰り返し行い、得られた多数の連続SEM像（図2（a））をコンピューター処理することで、3次元画像（図2（b））として観察することができます。
図2 FIB-SEMによる自動車用樹脂の3次元観察（a）多数の連続SEM像、（b）3次元画像