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分析事例

FIBによる試料作製、TEM観察

(1)FIB加工による断面TEM試料の作製

  • FIBはサブミクロンオーダーでの微細加工、観察が可能で、TEM(透過型電子顕微鏡)の前処理としてよく使われます。
  • 有機、無機、及びこれら複合材料の多くに適用が可能です。
(a) 粗加工1
(a) 粗加工1
(b) 粗加工2
(b) 粗加工2
(c) マイクロプローブ取り付け
(c) マイクロプローブ取り付け
(d) マイクロサンプリング
(d) マイクロサンプリング
(e) メッシュへの固定
(e) メッシュへの固定
(f) 薄膜化
(f) 薄膜化

図1 FIB加工による断面TEM試料作製フロー(SIM像)

(2)FIB加工により作製した試料のTEM観察

図2 FIB加工により作製した液晶ディスプレイの断面TEM像

図2 FIB加工により作製した液晶ディスプレイの断面TEM像

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