FIBによる試料作製、TEM観察
（1）FIB加工による断面TEM試料の作製
- FIBはサブミクロンオーダーでの微細加工、観察が可能で、TEM（透過型電子顕微鏡）の前処理としてよく使われます。
- 有機、無機、及びこれら複合材料の多くに適用が可能です。
 (a) 粗加工1 |
 (b) 粗加工2 |
 (c) マイクロプローブ取り付け |
 (d) マイクロサンプリング |
 (e) メッシュへの固定 |
 (f) 薄膜化 |
図1 FIB加工による断面TEM試料作製フロー（SIM像）
（2）FIB加工により作製した試料のTEM観察
図2 FIB加工により作製した液晶ディスプレイの断面TEM像