カネカグループの分析会社

分析事例

XPSによるデプスプロファイル

各種無機材料および有機材料極表面の元素分析・状態分析は多種多様な課題解決に寄与しています。プローブとしてX線を用いるXPSは絶縁物分析が容易であることから、応用範囲は多岐にわたっており、深さ方向の分析による元素・状態の深さ方向の分布分析も広く利用されています。

(1)角度分解法

試料を傾斜させて、検出器への光電子脱出角度を変化させる方法です。非破壊分析という長所があり、角度分解法と呼ばれています。(図1)この方法では試料表面と検出器方向の角度をθとすると、光電子の脱出深さは sinθ に比例するので θ=90°における脱出深さを1とするとθ=5°では0.1に減少し、極表面の組成変化が検知できることになります。

図1 角度分解法での分析深さの変化

図1 角度分解法での分析深さの変化

(2)イオンスパッタ法

イオンスパッタ法はイオンダメージや選択スパッタの問題が生ずることがありますが、超薄膜から比較的厚い試料にも適用できる方法です。図2は高分子中での表面元素分布の経時変化を測定した例ですが、添加剤に含有される元素Aの高分子表面での局在が経時により平準化する過程が明らかです。

図2 シリコーン含有試料中のSi定量結果

図2 高分子表面の元素分布(経時変化) 左:初期品 右:経時品

Webからのお問い合わせ
お電話 / FAXでのお問い合わせ

株式会社カネカテクノリサーチ

大阪本社 営業部 TEL. 06-6226-4350  FAX. 06-6226-5517
東京営業所 TEL. 03-5297-5201  FAX. 03-3256-7860
名古屋営業所 TEL. 052-959-5766  FAX. 052-959-5760

営業時間 9:00~17:40(土・日・祝日は除く)

ページの先頭へ