イオンミリングを用いた加工、観察例
各部材の構造解析、不良解析を実施するにあたり、効果的な手法のひとつとして断面観察が考えられます。現在、構造の複雑化、硬さの大きく異なる部材によって構成される複合材料の増加により、試料に適した断面作製法を選択することが重要となっています。
イオンミリング（BIB）は、ブロードなアルゴンイオンビームにより加工を行い、SEM等の断面観察用試料を作製する手法です。割断法、切断法、機械研磨法では困難であった無機／高分子複合材料などの断面作製に効果的です。
図1 基板断面の加工・観察例