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分析装置紹介

超高分解能走査型電子顕微鏡Ultra High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscope(FE-SEM)

CarlZeiss製 ULTRAplus

装置名
ZEISS製 ULTRAplus(写真)
装置の仕様
  • 電子銃:ショットキー型電子銃
  • 加速電圧:0.02kV(0.01kVステップ)
  • 分解能:1.0nm@15kV
  • 検出器:InLens検出器、チャンバーSE検出器、EsB検出器、
    AsB検出器、STEM検出器、EDX検出器※
  • その他:チャージコンペンセイション、エバクトロン、
    ステージ冷却機能

※Bruker製 QUANTAX XFlash5010(分解能125eV)


GEMINI Columnを搭載した超高分解能走査型電子顕微鏡です。ショットキー型電子銃のため非常に電流が安定しています。
電子線が陰極から試料に達するまでクロスオーバーを作らない磁場-電場複合型レンズを有しているため、色収差が非常に少ない像を取得できることが特徴です。加速電圧は20V〜30kVの範囲で容易に変化させることができ、極低加速電圧でも高コントラストの像が取得できます。また、様々な検出器を用いることによって、その検出器特有の情報が得られます。
チャージコンペンセイション(帯電除去)機能により、非導電性(絶縁性)試料でも高分解能でSNの良い画像を安定的に取得し、EDX分析が可能です。
エバクトロン(クリーニング)機能により、真空雰囲気中に存在するハイドロカーボンの除去を行い、試料表面に堆積したカーボンによる像障害を回避することができます。

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