超高分解能走査型電子顕微鏡Ultra High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscope（FE-SEM）
- 装置名
- ZEISS製 ULTRAplus（写真）
- 装置の仕様
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- 電子銃：ショットキー型電子銃
- 加速電圧：0.02kV（0.01kVステップ）
- 分解能：1.0nm@15kV
- 検出器：InLens検出器、チャンバーSE検出器、EsB検出器、
AsB検出器、STEM検出器、EDX検出器※ - その他：チャージコンペンセイション、エバクトロン、
ステージ冷却機能
※Bruker製 QUANTAX XFlash5010（分解能125eV）
GEMINI Columnを搭載した超高分解能走査型電子顕微鏡です。ショットキー型電子銃のため非常に電流が安定しています。
電子線が陰極から試料に達するまでクロスオーバーを作らない磁場-電場複合型レンズを有しているため、色収差が非常に少ない像を取得できることが特徴です。加速電圧は20V〜30kVの範囲で容易に変化させることができ、極低加速電圧でも高コントラストの像が取得できます。また、様々な検出器を用いることによって、その検出器特有の情報が得られます。
チャージコンペンセイション（帯電除去）機能により、非導電性（絶縁性）試料でも高分解能でSNの良い画像を安定的に取得し、EDX分析が可能です。
エバクトロン（クリーニング）機能により、真空雰囲気中に存在するハイドロカーボンの除去を行い、試料表面に堆積したカーボンによる像障害を回避することができます。