微小部の断面観察
ブロードイオンビーム加工（BIB）と集束イオンビーム加工（FIB）を併用して多層膜の断面試料を作製し、形態観察を行いました。
イオンミリング−SEMによる断面観察
BIBを用いて約1mmの広範囲にわたる断面作製及びSEM観察が可能です。
FIB−TEMによる断面観察
BIBを用いて作製した断面試料の表面約10μmの微小部をさらに、FIBを用いてTEM観察することができます。 TEMではナノオーダーの微細構造観察や元素分析が可能です。
ブロードイオンビーム加工（BIB）と集束イオンビーム加工（FIB）を併用して多層膜の断面試料を作製し、形態観察を行いました。
BIBを用いて約1mmの広範囲にわたる断面作製及びSEM観察が可能です。
BIBを用いて作製した断面試料の表面約10μmの微小部をさらに、FIBを用いてTEM観察することができます。 TEMではナノオーダーの微細構造観察や元素分析が可能です。