FIBを用いたフィルム中の異物分析
異物がフィルム表面に露出していない場合、SEMやSIMによる表面観察では確認することはできません。そのため、光学顕微鏡下でフィルムの表面にレーザーマーキング処理を施し（図1）、FIB加工により断面を作製しました。
図1 光学顕微鏡像
FIB加工により作製した異物断面のSEM観察及びSEM-EDX法による元素分析を実施した結果、異物はフィルム表面から約5μmの深さに存在しており、得られたX線スペクトルより、リン酸カルシウムが存在していると推測できます（図2，図3）。
図2 SEM像（傾斜した状態）
図3 X線スペクトル