カネカグループの分析会社

分析事例

FIBを用いたフィルム中の異物分析

異物がフィルム表面に露出していない場合、SEMやSIMによる表面観察では確認することはできません。そのため、光学顕微鏡下でフィルムの表面にレーザーマーキング処理を施し(図1)、FIB加工により断面を作製しました。


図1 光学顕微鏡像

FIB加工により作製した異物断面のSEM観察及びSEM-EDX法による元素分析を実施した結果、異物はフィルム表面から約5μmの深さに存在しており、得られたX線スペクトルより、リン酸カルシウムが存在していると推測できます(図2,図3)。

図2 SEM像
図2 SEM像(傾斜した状態)

図3 X線スペクトル
図3 X線スペクトル

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