走査透過型電子顕微鏡Scanning Transmission Electron Microscope（STEM-EDX／EELS）
- 装置名
- 日立ハイテクノロジーズ製 HD-2700
- 装置の仕様
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- 加速電圧：200kV、120kV、80kV
- 分解能：0.204nm
- 分析装置
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- EDX（EDAX社：TEAM）
- EELS（Gatan社：Enfina1000）
走査透過型電子顕微鏡は微小に集束された電子を試料上に走査し試料を透過した電子を検出器で捕らえて結像をします。
検出器には、BF（明視野）検出器、ADF（環状暗視野）検出器がありBF検出器ではダイレクトビームを捕らえて結像します。BF-STEM像ではTEM像と等価なコントラストが得られます。ADF検出器では散乱された電子を捕らえて結像します。特に高角に散乱された電子で結像されたものをHAADF-STEMと言い、原子番号（Z）の2乗に比例したコントラストが得られ、試料の組成情報を反映した像を観察する事が可能です。
 BF-STEM像 |
 HAADF-STEM像 |
- 分析装置
- エネルギー分散型X線分光分析器（EDX：Energy Dispersive X-ray Spectroscope）、電子エネルギー損失分光分析器（EELS：Electron Energy Loss Spectroscope）が併置されており、微小領域の元素分析、状態分析が可能です。