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分析事例

多結晶太陽電池の構造解析

近年、太陽電池は二酸化炭素を発生しない再生可能エネルギーとして注目を浴びています。その中で一番普及の進んでいるSi多結晶太陽電池の構造解析をクロスセクションポリッシャー(CP)、走査電子顕微鏡(SEM)、集束イオンビーム(FIB)、走査透過電子顕微鏡(STEM)等を用いて行ないました。

形態観察結果

形態観察結果

図1.形態観察結果

太陽電池表面には電極の他に2層の膜があることが分かりました。

EDXによるドーパント(P)の確認

図2.EDX元素分析結果

エネルギー分散型X線分光法(EDX)で元素分析を行うことでドーパントとしてリン(P)が使用されていることがわかりました。

EDXマッピングによるドーパント(P)の分布確認

EDXマッピング結果

図3.EDXマッピング結果

パッシベーション及び反射防止膜がSiO、SiNであることが分かりました。また、ドーパント領域が明瞭に確認されました。

EELSによる反射防止膜及びパッシベーション膜の状態分析

EELS分析結果EELS分析結果グラフ

図4.EELS分析結果

電子エネルギー損失分光(EELS)分析を行なうことで、Siの化学結合状態の違いが分かりました。

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