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分析事例

リフレクター塗装膜の積層構造分析

リフレクターとは、光を反射させる装置の総称で電球の反射板などに該当します。
リフレクターは、高い反射率と難燃性が必要とされるため、複雑な積層構造に塗装されています。
リフレクター塗装膜の積層構造を得るために市販のリフレクター(塗装面)をFIB加工後、STEMにより形態観察及び組成分析した事例をご紹介します。

図1、図2

図1は、塗膜層全体像です。20層の積層構造が確認できました。
図2は、積層構造上層の拡大像です。各層の膜厚が確認できました。

図3

図3 EDX 元素分析結果

図3は、EDXによる元素分析結果です。コントラストの暗い層からは主にO,Tiが検出され、コントラストの明るい層からは主にO,Siが検出されました。
分析結果より、塗膜層は酸化チタンとSiO2の積層構造を形成していることが確認できました。

このように、FIBとSTEM-EDXを用いて、多層材料の積層構造の各膜厚及び組成元素を評価することができます。

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